Vergeleken met andere soorten druksensoren heeft de siliciumresonante druksensor de volgende voordelen:
Hoge precisie:Het meet de druk op basis van het trillingsprincipe van de resonator. De grootte van de gemeten druk wordt berekend door de verandering in de trillingsfrequentie van de resonator te meten. Deze meetmethode heeft een extreem hoge resolutie en kan voldoen aan diverse hoge-precisiemeetvereisten. In de lucht- en ruimtevaartsector kan de siliciumresonante druksensor voor de luchtdrukmeting van vliegtuigen bijvoorbeeld nauwkeurigere gegevens leveren om de vliegveiligheid te garanderen.
Hoge stabiliteit:Siliciummateriaal zelf bezit een hoge elasticiteit en hoge stabiliteit. Bovendien zijn het diafragma en de resonator van de sensor vervaardigd op dezelfde single-kristalsiliciumwafel, zodat er geen problemen zullen optreden zoals hysteresis, kruip en drift op de verbindingspunten. Dientengevolge kunnen meetresultaten met goede stabiliteit en uitstekende herhaalbaarheid worden verkregen. Bij industriële geautomatiseerde productie, op een productielijn die gedurende lange tijd stabiel functioneert, kan de siliciumresonante druksensor bijvoorbeeld continu en stabiel nauwkeurige drukgegevens leveren, waardoor de consistentie van het productieproces en de stabiliteit van de productkwaliteit wordt gewaarborgd.
Sterk anti{0}}interferentievermogen:De uitgang van de siliciumresonante druksensor is een frequentiesignaal. Vergeleken met de analoge signalen die door andere soorten sensoren worden afgegeven, hebben frequentiesignalen een sterker anti-interferentievermogen en worden ze niet gemakkelijk beïnvloed door externe factoren zoals elektromagnetische interferentie, temperatuurveranderingen en veranderingen in de vochtigheid. Het kan nog steeds nauwkeurig de druk meten in complexe elektromagnetische omgevingen of ruwe natuurlijke omgevingen.
Lage temperatuurinvloed:Silicium heeft, net als kwartskristal, een uitstekende elasticiteit en ongeveer dezelfde temperatuurcoëfficiëntkarakteristieken. De temperatuurstabiliteit is beter dan 10⁻⁶/graad en de tijdstabiliteit is hoger dan 10⁻⁶/jaar. Binnen een relatief breed temperatuurbereik is de prestatieverandering van de sensor extreem klein en vrijwel verwaarloosbaar. Daarom kan het apparaat hoge-precieze metingen uitvoeren in zowel omgevingen met hoge als lage temperaturen.
Laag stroomverbruik:De interne structuur is eenvoudig en bevat geen mechanische bewegende delen, waardoor het energieverbruik aanzienlijk wordt verminderd. Dit is van groot belang voor sommige draagbare apparaten die op batterijen werken of voor systemen met strenge eisen op het gebied van stroomverbruik, omdat dit de werktijd van de apparaten effectief kan verlengen.
Klein formaat en lichtgewicht:Door gebruik te maken van micro-nano-productietechnieken kan de sensor compact en lichtgewicht worden gemaakt. Het is eenvoudig te integreren in verschillende geminiaturiseerde en lichtgewicht apparaten en systemen, zoals draagbare medische apparaten en microluchtvoertuigen. Het zal geen significante invloed hebben op de algehele prestaties en draagbaarheid van de apparaten. Ondertussen vergemakkelijkt het ook productie op grote- schaal en kostenreductie.
Goede dynamische kenmerken:Het heeft een kleine warmtecapaciteit en kan snel reageren op drukveranderingen. Het vertoont uitstekende prestaties bij het meten van dynamische drukken, zoals pulserende druk en snel veranderende druk. Het kan de drukveranderingen in realtime nauwkeurig vastleggen en wordt veel gebruikt bij aspecten als het meten van de druk van het inlaatspruitstuk van automotoren en het bewaken van de dynamische druk van hydraulische systemen.
Breed meetbereik:Door het aanpassen van productieprocessen en andere methoden kan het meetbereik flexibel worden aangepast aan specifieke toepassingsvereisten. Het kan voldoen aan de meetbehoeften van kleine drukken tot relatief grote drukken, met een breed scala aan toepassingen. Het is toepasbaar bij het meten van lage luchtdruk of hogedruk-hydraulische systemen-.